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無塵室概述

無塵室也稱潔凈室,是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講,一個(gè)凈室具有一個(gè)受控的污染級(jí)別,污染級(jí)別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用大顆粒大小來厘定的。低級(jí)別的凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。
  無塵室的定義:空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即:這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱之為潔凈室。凈室被廣泛地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。  
  無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內(nèi)的制造區(qū)(FAB)。一般而言,制造潔凈空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),經(jīng)過潔凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進(jìn)而得到符合規(guī)格之潔凈空氣。以下簡(jiǎn)單介紹其處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱(Make-up Air Unit或MAU)初步過濾微塵(particle)并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風(fēng)管道間(Mech. Chase),將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合,經(jīng)由冷卻盤管(Dry Cooling Coil)將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,通過循環(huán)風(fēng)扇(Fan Filter Unit或FFU)帶動(dòng)潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)過濾后,供應(yīng)至Fab區(qū)。


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